真空干燥机、真空气相干燥VPD设备原理及组成分析；

　  真空干燥机在准备阶段，以罗茨泵7为主泵，旋片泵9和10为前级泵的主真空系统，通过主真空阀1，对真空罐Ⅱ抽真空。蒸发器I中已通过泵51注入了适当量的煤油。在真空罐抽真空的同时，维持泵34通过冷凝液收集罐Ⅲ、冷凝器38、旁通阀52对蒸发器抽真空。抽到接近于当时温度下煤油对应的饱和压力。这样可以认为整个系统的氧气全排除。然后过饱和水蒸气通过入口阀50对煤油加热蒸发。

　　准备阶段完了，主真空阀1关闭，主真空系统停止工作。煤油蒸气进入真空罐，直接冷凝成液体的煤油，返回到蒸发器。真空罐中还有部分没有被直接冷凝的煤油蒸气、水蒸气和泄漏空气，同时进入主冷凝器38.蒸气冷凝成液体进入冷凝液收集罐Ⅲ进行沉淀分离，空气则通过泵34排往大气。

　　高真空阶段与准备阶段一样，由主真空系统对真空罐抽真空。虽然在降压阶段真空罐中的煤油基本排净，但绝缘中还会有残留煤油。在高真空阶段进入真空系统的气体含有一定的煤油蒸气，在前级冷凝器6和中间冷凝器8中冷凝成液体，收集在罐22和23中，积累到一定的量，排人大收集罐Ⅲ中。

　　阀4是放气阀干燥完了后，可向真空罐充气的阀门。

　　真空计31、37和49用以测量相应部位的压力。压力开关30用于真空罐中压力小于给定值时提供信号。压力开关48和32用于一旦泵统发生漏气超过给定值时的报警。压力开关36和调节阀35配合工作，以自动调节冷凝系统的压力。手动阀40用以调节返回的煤油量，以反馈的方式调节蒸发器的加热功率。

　　阀13、14用于前级泵停止工作后泵人口充气。